ซิลิคอนเตตระฟลูออไรด์เป็นสารประกอบอนินทรีย์ที่มีสูตรทางเคมี SiF4 โครงสร้างโมเลกุลของมันคืออะตอมของ Si ก่อตัวเป็นพันธะ σ กับออร์บิทัลลูกผสม sp3 รูปร่างโมเลกุลเป็นทรงสี่เหลี่ยมจตุรัสปกติ ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการเตรียมกรดฟลูออโรซิลิกและตะกั่วฟลูออไรด์ ใช้เป็นสารชุบแข็งสำหรับซีเมนต์และหินอ่อนเทียม เป็นตัวกลางในการผลิตซิลิกอนบริสุทธิ์
