คุณสมบัติเลเซอร์ excimer
1.excimerที่มีอยู่ในรูปแบบของรัฐตื่นเต้น, ที่มีช่วงชีวิตสั้น, เพียง10^( -8)sขนาด, และพื้นดินรัฐเป็น10^( -13)sขนาดของ การเปลี่ยนแปลงเกิดขึ้นในสถานะตื่นเต้นต่ําและสถานะพื้นดินที่หุนหันพลันหัน (หรือ (ผูกพันอย่างอ่อน) สเปกตรัมฟลูออเรสเซนต์เป็นแถบต่อเนื่อง
2.ตั้งแต่สเปกตรัมเรืองแสงเป็นวงอย่างต่อเนื่อง, มันสามารถตระหนักถึงความยาวคลื่นไม่สามารถดําเนินการของ
3.เนื่องจากการแยกตัวอย่างรวดเร็วของไอออนในระดับพลังงานที่ต่ํากว่า( พื้นดินรัฐ) ของการเปลี่ยนแปลงเลเซอร์, ระดับพลังงานที่ต่ํากว่าของเลเซอร์เป็นพื้นว่างเปล่า, และมันเป็นเรื่องง่ายที่จะบรรลุการผกผันของประชากร, ดังนั้นประสิทธิภาพควอนตัมสูงมาก, ใกล้เคียงกับ100,และมันสามารถทํางานที่ความถี่การทําซ้ําสูงของ .
4.เอาท์พุทเลเซอร์ความยาวคลื่นส่วนใหญ่อยู่ในรังสีอัลตราไวโอเลตที่จะมองเห็นช่วงแสง, มีความยาวคลื่นสั้น, ความถี่สูง, พลังงานขนาดใหญ่, จุดโฟกัสขนาดเล็ก, และความละเอียดการประมวลผลสูง, ซึ่งเหมาะสําหรับสูง- คุณภาพการประมวลผลเลเซอร์ของ