การจำแนกประเภทของเซ็นเซอร์และหลักการทำงาน
1 เซ็นเซอร์ความดัน piezoresistive
มาตรวัดความเครียดเป็นหนึ่งในองค์ประกอบหลักของเซ็นเซอร์ความเครียดแบบ piezoresistive หลักการทำงานของเครื่องวัดความต้านทานความเครียดของโลหะเป็นปรากฎการณ์ที่ความต้านทานต่อสายพันธุ์ที่ถูกดูดซับบนวัสดุฐานเปลี่ยนแปลงด้วยการเปลี่ยนรูปเชิงกลซึ่งโดยทั่วไปเรียกว่าผลของความต้านทานความเครียด
2 เซ็นเซอร์ความดันเซรามิก
เซ็นเซอร์ความดันเซรามิกขึ้นอยู่กับผลกระทบแบบวงกลม ความกดอากาศทำหน้าที่โดยตรงบนพื้นผิวด้านหน้าของไดอะแฟรมเซรามิกเพื่อให้ไดอะแฟรมผิดปกติเล็กน้อย ตัวต้านทานฟิล์มหนาจะถูกพิมพ์ที่ด้านหลังของไดอะแฟรมเซรามิกและเชื่อมต่อกับสะพานวีทสโตนเนื่องจากตัววาริสเตอร์ ผล piezoresistive ทำให้สะพานสร้างสัญญาณแรงดันไฟฟ้าเชิงเส้นสูงตามสัดส่วนของความดันซึ่งเป็นสัดส่วนกับแรงดันไฟฟ้ากระตุ้น สัญญาณมาตรฐานจะถูกปรับเทียบเป็น 2.0 / 3.0 / 3.3mV / V ขึ้นอยู่กับช่วงความดัน เซ็นเซอร์วัดความเครียดเข้ากันได้
3. เซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนกระจาย:
หลักการทำงานของเซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนกระจายยังขึ้นอยู่กับผลกระทบของ piezoresistive การใช้หลักการของผล piezoresistive ความดันของสื่อที่ถูกวัดจะทำหน้าที่โดยตรงกับไดอะแฟรมของเซ็นเซอร์ (สแตนเลสหรือเซรามิก) เพื่อให้ไดอะแฟรมสร้างไมโครดิสเพลสเมนต์ตามสัดส่วนกับความดันของสื่อ ค่าความต้านทานของเซ็นเซอร์มีการเปลี่ยนแปลงการเปลี่ยนแปลงถูกตรวจพบโดยวงจรอิเล็กทรอนิกส์และสัญญาณการวัดมาตรฐานที่สอดคล้องกับความดันจะถูกแปลงและส่งออก
4, เซ็นเซอร์ความดันไพลิน:
ด้วยการใช้การทำงานแบบต่อต้านความเครียดจึงใช้ซิลิคอน - แซฟไฟร์เป็นเซ็นเซอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีมาตรวิทยาที่ไม่มีใครเทียบ ดังนั้นส่วนประกอบที่สำคัญของเซมิคอนดักเตอร์ที่ทำจากซิลิกอนแซฟไฟร์จึงไม่มีความอ่อนไหวต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิและมีลักษณะการทำงานที่ยอดเยี่ยมแม้ภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง ไพลินมีความต้านทานการแผ่รังสีที่รุนแรงมาก นอกจากนี้ส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ซิลิกอนไพลินที่สำคัญ Pn ดริฟท์
5, เซ็นเซอร์ความดัน piezoelectric:
ผลกระทบ piezoelectric เป็นหลักการทำงานหลักของเซ็นเซอร์ piezoelectric เซ็นเซอร์ piezoelectric ไม่สามารถใช้สำหรับการวัดแบบคงที่เนื่องจากประจุไฟฟ้าหลังจากแรงภายนอกถูกบันทึกไว้เฉพาะเมื่อลูปมีอิมพีแดนซ์อินพุตไม่สิ้นสุด นี่ไม่ใช่กรณีดังนั้นสิ่งนี้จึงกำหนดว่าเซ็นเซอร์ piezoelectric สามารถวัดความเค้นแบบไดนามิกได้เท่านั้น